Additional Metadata
Journal Appl. Phys. Lett.
Citation
Slijkerman, W. F. J, Zagwijn, P. M, van der Veen, J. F, van Gorkum, A. A, & van de Walle, G. F. A. (1989). Structural characterization of an Sb delta-doping layer in silicon. Appl. Phys. Lett., 55, 963–965.