Appl. Phys. Lett.

Slijkerman, W. F. J., Zagwijn, P. M., van der Veen, J. F., van Gorkum, A. A., & van de Walle, G. F. A. (1989). Structural characterization of an Sb delta-doping layer in silicon. Appl. Phys. Lett., 55, 963–965.