Additional Metadata
Journal J. Appl. Phys.
Citation
Slijkerman, W. F. J, Gay, J. M, Zagwijn, P. M, van der Veen, J. F, MacDonald, J. E, Williams, A. A, … van de Walle, G. F. A. (1990). X-ray reflectivity of an Sb delta-doping layer in silicon. J. Appl. Phys., 68, 5105–5108.